エイペックスは、装置メーカーの純正品と同等の品質を誇る韓国部品メーカーの製品を工場から直接入手するために、韓国現地法人を設立し、安価で安定的に消耗部品を日本国内に輸入することができるようになりました。 需要が見込まれる重要なパーツに関しては、製造メーカーと共同開発によるエイペックスオリジナルパーツを開発、安定供給化へ向けてさらに積極的に取り込んでいます。 ■LAMP for Semiconductor PDFファイルのダウンロードはこちら ■LASER for Semiconductor PDFファイルのダウンロードはこちら ■Parts List for Lam Equipment PDFファイルのダウンロードはこちら ■O-RING List for Lam Equipment PDFファイルのダウンロードはこちら ■MFC List PDFファイルのダウンロードはこちら ■Other Parts List PDFファイルのダウンロードはこちら ※ PDFファイルを閲覧するためにはAdobe Acrobat Reader（無償）が必要です。 お持ちでない方はこちらからダウンロードできます。