京都府亀岡市大井町小金岐4-1 MAP
| 1 敷地面積 | 3,208m2 |
|---|---|
| 3 建築延面積 | 3,789m2 (1)クリーンルーム 821m2 (2)空調倉庫 2,106m2 (3)その他 862m2 |
| 3 機能 | CR+空調倉庫+ショールーム |
面積:約100m2、天井高3.5m
ステッパーのリファービッシュや立上げを行うためのイエロールーム。
また、床の構造も、メーカー推奨の振動スペックをクリアした、嫌振(けんしん)床となっており、高精度を要するステッパーの作業が可能になっています。
※この他にクラス1000エリアが約600m2
面積:約100m2、天井高3.5m
半導体メーカーの製造ラインと同レベルのクリーンルーム。以下の目的でクラス100を用意。
①特に測定器などの中古装置の立上げ後、実際のデバイスウェハーを使ってテストをするニーズが出た場合に対応
②新規の装置開発時のテスト用
半導体製造装置の保管は、温度、湿度が一定の状態に保たれた空調倉庫で行います。(23℃±3℃)
延床面積は1階と2階合計で2,106m2。
当社では、自社の戦略在庫だけでなく、提携しているリース会社や同業者からの依頼で装置保管場所の提供も行っています。