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企業情報

エイペックステックセンター

C/R (クラス100/1000)と空調倉庫を備え最適な環境の中、装置の再生、改造、保管が行えます。

概要

京都府亀岡市大井町小金岐4-1 MAP

1 敷地面積 3,208m2
3 建築延面積 3,789m2
(1)クリーンルーム  821m2
(2)空調倉庫  2,106m2
(3)その他  862m2
3 機能 CR+空調倉庫+ショールーム


イエロールーム

(クラス1000エリアの一部)

面積:約100m2、天井高3.5m
ステッパーのリファービッシュや立上げを行うためのイエロールーム。
また、床の構造も、メーカー推奨の振動スペックをクリアした、嫌振(けんしん)床となっており、高精度を要するステッパーの作業が可能になっています。

※この他にクラス1000エリアが約600m2

クラス100エリア

面積:約100m2、天井高3.5m
半導体メーカーの製造ラインと同レベルのクリーンルーム。以下の目的でクラス100を用意。

特に測定器などの中古装置の立上げ後、実際のデバイスウェハーを使ってテストをするニーズが出た場合に対応

新規の装置開発時のテスト用

空調倉庫

半導体製造装置の保管は、温度、湿度が一定の状態に保たれた空調倉庫で行います。(23℃±3℃)
延床面積は1階と2階合計で2,106m2
当社では、自社の戦略在庫だけでなく、提携しているリース会社や同業者からの依頼で装置保管場所の提供も行っています。

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